电子工业出版社

微电子工艺实验教程

作译者：王珏
出版时间：2025-07
字数：275
页数：172
版次：01-01
开本：16开开
印次：01-01
ISBN：9787121506901
所属分类：教育,本科研究生,电子信息类,
定价：45.0

内容简介:
本书是根据微电子工艺实验的基本教学要求编写的，秉持“理论与实践并重”的理念，在内容安排上注重对学生实验技能的培养。全书精心设计了12个实验，包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。每个实验均配有详细的操作指导，还安排了启发性思考题和拓展实验内容，便于开展分层教学，各校可根据自己的需求选做。本书可作为高等院校微电子科学与工程、集成电路设计与集成系统、电子信息工程等专业的实验教材，也可作为集成电路制造工艺领域工程技术人员的参考用书。