电子工业出版社

MEMS法珀腔光学声传感器

丛书名：工业信息化技术丛书
作译者：郑永秋,陈佳敏,武丽云
出版时间：2023-11
字数：220
页数：220
版次：01-01
开本：16开开
印次：01-01
ISBN：9787121466953
所属分类：科技,机械/仪器仪表,自动化技术,
定价：98.0

内容简介:
MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。本书在注重机理分析的同时，将理论与实践相结合，具有较强的系统性、理论性和实用性，对从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员有一定的参考价值，也可作为相关专业本科生和研究生的教学参考书。